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光繪菲林

光繪菲林

大尺寸光罩

名稱:大尺寸光罩
材料:Soda Lime Glass、Quartz
規格:1100mm×1100mm~406.4mmx457.2mm
應用:PCB行業、平板顯示行業

詳情介紹

主要應用領域:
  主要應用于LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP等平板顯示行業;HDI、FPC等PCB行業。
Applications:
  Mainly used in LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP and other flat panel display industry;HDI、FPC and other PCB industry.
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鉻版精度 Chrome Mask SpecificationsStandard Size:430mmx430mm
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?
精度 / 級別
Items / Class
最高精度
Grade 1
高精度
Grade 2
中精度
Grade 3
一般精度
Grade 4
最小線寬/線縫
Min.Line/Space Width
1.0μm/1.0μm 5μm/5μm 10μm/10μm
20μm/20μm
線條精度
CD Control
±0.15μm (QZ)
±0.5μm
±1.0μm
±2.0μm
總長精度
Total Pitch Accuracy
±0.5μm(QZ)
±1.0μm
±2.0μm
±2.0μm
圖形位置精度
Registration Accuracy
±0.5μm(QZ)
±1.0μm
±2.0μm
±3.0μm
套合精度
Overlay Accuracy
±0.5μm(QZ)
±1.0μm
±2.0μm
±3.0μm
垂直精度
Orthogonality
±0.75μrad
±2.0μrad
±3.0μrad
±4.0μrad
?
鉻版材料 Substrate(Photomask blank phate)
?
?材料 Material Soda Lime Glass、Quartz
?最大尺寸Max. Size 1100mm×1100mm
?常規尺寸Normal Size
406.4mmx457.2mm,420mmx520mm,450mmx550mm,580mmx609.6mm,
609.6mmx711.2mm,620mmx720mm,700mmx800mm,800mmx960mm
?厚度 Thickness ?
2.3±0.2mm,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm ,7.8±0.2mm
5.0±0.2mm (QZ),8.0±0.2mm (QZ)
?鉻膜 Film Type Low Reflectance Chrome
?光學密度Optical Density(λ=450nm) Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3
?反射率Reflectivity(λ=436nm) Between Plates10±5% In Plate±2%
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